設備型號：DM100-M0406B
應用范圍：適用于將巨量的Micro LED芯片轉(zhuǎn)移到目標基板上，轉(zhuǎn)移過程具有極高的良率和效率
主要特點：
設備特點：
1、轉(zhuǎn)移效果好，巨量轉(zhuǎn)移過程中對芯片無損傷，具備高良率、高效率的特點
2、可實現(xiàn)巨量轉(zhuǎn)移和選擇性轉(zhuǎn)移，對Micro LED芯片進行陣列排布
3、可根據(jù)AOI/PL設備提供的Mapping圖，進行高速準確選擇性轉(zhuǎn)移
4、具備高精度對位系統(tǒng)、高精度姿態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，確保Mciro LED轉(zhuǎn)移落點精準
5、全自動化上下料，可根據(jù)產(chǎn)品進行自動化定制
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 上載臺兼容尺寸 | 4寸 6寸 8寸 (可定制) |
| 下載臺兼容尺寸 | 370*470mm (可定制) | |
| 三色自動上下料 | 支持 | |
| 光斑形貌 | 平頂光 | |
| 光班均勻性 | ≥96% | |
| 最大能量密度 | ≥1500 mJ/cm2 | |
| 對位精度 | < ±1um | |
| Gap調(diào)節(jié)精度 | ≤1um | |
| Xy運動平臺 | 根據(jù)產(chǎn)品定制 | |
| 光罩Mask切換 | 全自動切換 |
歡迎關注公眾號
在線咨詢
電話聯(lián)系